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Atals P30高浓度臭氧发生器用于薄膜沉积

发布日期：2026-07-30 14:18 浏览次数：

Atals P30高浓度臭氧发生器用于薄膜沉积

Atals P30高浓度臭氧发生器用于薄膜沉积

该臭氧源系统系统采用纯氧作为气源供给，Atlas P30高浓度臭氧发生器搭配3S-J5000臭氧检测仪实时在线监测臭氧输出浓度，稳定输出浓度 200mg/L 以上的高纯度臭氧，满足薄膜沉积工艺对高臭氧氛围的严苛要求，科研人员可直观掌握臭氧浓度实时变化，按需调整设备运行参数，保障实验条件稳定可控。

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